
Авторы:
Издательство:
Дата издания
01.01.2016Место издания (где издан)
АлматыНа каком языке издана
Количество страниц
228Аннотация (краткое описание)
Рассмотрены основы проектирования и разработки полупроводниковых пьезочувствительных элементов микроэлектронных датчиков давлений. В частности, представлены общие вопросы измерения давления, пьезоэффекта, принципы проектирования, разработки топологии, термокомпенсации полупроводниковых пьезочувствительных элементов.ISBN
978-601-228-983-1Данный документ располагается в коллекциях
Книги
Учебное пособие
Файлы документа
mihailov_sistemnoe_rus_2016.pdf